Planarantriebe

Planarantriebe für die präzise Positionierung

Planarantriebe sind aus einem unbeweglichen Stator und einem oder mehreren beweglichen Läufermodulen aufgebaut, wobei der Stator aus einer flachen Metallplatte mit einer Zahnstruktur besteht. Der Läufer des Planarantriebes beinhaltet zwei orthogonale elektromagnetische Bauteile und eine verteilte Zahnstruktur an der Oberfläche mit einem genau definierten Phasenversatz von Pol zu Pol. Die eingebauten Druckluftdüsen sorgen für ein stabiles Luftkissen zwischen der Statorplatte und den Läufermodulen. Es stehen zwei Typen Planarantriebe zur Verfügung: mit Hallsensor-Feedback und ohne Positionsfeedback.

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